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BluGlass与爱思强合作,探索RPCVD量产可行性

2019-01-04    

乐白家手机版599报道

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导语: 据外国媒体报道,澳大利亚BluGlass企业正在与德国的沉积设备制造商Aixtron (爱思强)合作,以评估BluGlass的RPCVD(远程等离子体化学气相沉积)技术。

  据外国媒体报道,澳大利亚BluGlass企业正在与德国的沉积设备制造商Aixtron (爱思强)合作,以评估BluGlass的RPCVD(远程等离子体化学气相沉积)技术。

  BluGlass选择了Aixtron的系统,将RPCVD扩展到批量生产的能力,首次集成将在BluGlass的悉尼Silverwater工厂进行。据悉,BluGlass的RPCVD技术可实现III-V氮化物材料的低温沉积,从而有可能提高器件的性能。

  BluGlass的总经理Giles Bourne表示,“大家非常高兴获得爱思强对大家这一重大扩展项目的支撑”,“这是展示RPCVD批量生产可行性的重要一步”。

  爱思强集团创新官Ken Teo博士说,“在爱思强,大家一直在努力将新技术引入大家的平台”,“大家希翼探索RPCVD技术在氮化物层低温沉积方面的潜力,这可能为光电/电子设备开辟新的可能性;大家期待与BluGlass合作,整合RPCVD并评估该技术。”

编辑:严志祥

来源:LEDinside编译

标签:BluGlass  爱思强  RPCVD  

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